最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です
概要
XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に適しています。
データ
標準仕様 ： ～4元素、～25点、定量のみ(状態評価含まない)、最大領域70×70mm
応用例 ： 結合状態を考慮したマッピング、Siの酸化膜厚マッピング、ライン分析等
応用例 ： 結合状態を考慮したマッピング、Siの酸化膜厚マッピング、ライン分析等
POINT
