規格に則った試験によって不動態膜質に関する評価指標が得られます
概要
ステンレス鋼は、表面に極薄い緻密で安定したCrの酸化被膜(不動態膜)が形成されることで、優れた 耐食性を示します。この不動態膜には、表面敏感な手法であるXPSやAESによる組成、膜厚の評価が 有効です。特にSUS316Lについては国際的な業界団体SEMI*により規格化された不動態膜の試験方法(F60-0306(XPS),F72-0309(AES))が存在します。本資料ではSEMI規格に準拠したXPS分析の評価事例を紹介します。 *SEMI：Semiconductor Equipment and Materials International
データ
関連資料：C0003 ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価
B0211 XPS・AESによる深さ方向分析の比較_A
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