表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価できます
概要
TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)は、最表面の有機物・無機物を感度よく評価可能な手法で、製品の様々な品質管理を行うときの分析手段として利用することができます。例えば、製品保管時の表面付着物の定期的な確認、製品に剥離・変色などの不具合品が発生した際の原因調査、製作条件を変えた前後での着目成分の変化などです。本資料では、付着成分として代表的なポリジメチルシロキサン（PDMS）について、保管環境が異なるSiウェハ表面の比較を行った例を紹介します。
データ
保管環境AのウェハをTOF-SIMSを用いて測定したところ表面よりPDMSが特徴的に検出されました。 そこで保管環境が異なるウェハを準備し調査することにしました。PDMS由来のイオンのSiC3H9(m/z 73)をモニターすることにより保管環境による汚染の違いを比較しました。
