測定原理
電子ビームで試料をスキャンし電子回折パターンのマッピング取得を行います。
得られたパターンから結晶方位情報を解析し各種カラーマップを作成します。
最小検出可能粒径 ：約2 nm～（材質による）
最大取得範囲 ：4 um×4 um
Auナノ結晶の結晶粒マップ(左)およびヒストグラム(右)
解析事例
□粒径解析 – 3D NANDメモリ
複数の材質で構成されるデバイスなどについては、各材質ごとに結果を出力することができます。
市販品のNANDメモリについて解析を行いました。
W(左) および Poly-Si(右)の結晶粒マップとヒストグラム
配向性解析 – HDD 磁性ディスク
結晶粒の方位情報から配向性を可視化することが可能です。
CrCoPt 結晶粒の逆極点図方位マップ
ご依頼方法
MSTは、お客様からお預かりした材料・製品の機器分析を承ります。
お問い合わせから納品までの流れ
分析をご検討の際は、まずはお問い合わせください。
専任の担当者が適切な分析プランをご提案します。
［TEM ED-Map］TEM電子回折マッピング法について
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。
この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。
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