電子プローブマイクロアナライザー（Electron Probe Micro Analyzer：EPMA）は、真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。
特性X線を波長分散型検出器（WDX：Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer）を用い分析することで――
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