グロー放電質量分析計(GDMS)による新サービスを5月より開始しました。
主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。
「多くの元素を感度よく測りたい!!」というご要望にお応えします。
GDMSサービスの特徴
- 主成分からppbレベルの微量成分までの70元素以上の同時分析が可能
- 従来困難であったC,N,Oをppmレベルで検出
- nm～数十µm以上の深さ方向分析が可能
分析仕様
| サイズ・量 | 分析領域 | |
| 平板状試料 | 22〜70mmφ | 4mmφまたは8mmφ |
| ワイヤ状試料 | 1〜3mmφ | 1〜3mmφ |
| 粉末試料 | 1g程度 | ー |
GDMSサービス提供の背景
ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。
一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたいという分析ニーズも増えてきています。そこで、MSTは前処理を不要とするGDMSを導入し、新たな不純物分析サービスを開始いたします。
また、内製化によるサービスのリニューアルとなりますので、従来より短納期でデータのご報告が可能となります。
GDMSの適用例
- ワイドギャップ半導体分野
SiC、GaN、Ga2O3中の不純物分析 - バッテリー分野
リチウム二次電池正極シートの活物質の元素分析 - セラミックス分野
アルミナパウダーの不純物分析 - 鉄鋼業
不純物分析による純度評価