EBAC：Electron Beam Absorbed Current
概要
吸収電流像（Absorbed Electron Current Image）
照射した電子ビームを試料側で電流として計測し（吸収電流）、走査に同期させて可視化することにより、 吸収電流像を得ることができます。吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。
特徴
- 高抵抗異常箇所の特定可能
- 表面保護膜が存在しても測定可能
- SEM観察とほぼ同条件で測定可能
- 配線を流れる電流が微弱(pA)
- 多層構造の配線でも測定可能
測定のイメージ
