Arイオンミリング加工

特徴

Arイオンミリング加工は、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。

適用例

原理

1. 貼り合わせ
   サンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。
2. 切断
   数mmの厚みで切り出します。
3. 研磨
   機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。
4. Arイオンミリング
   低加速Arイオンを照射し、薄片化を行います。