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電子部品

身の回りの電子機器には圧電素子や振動子など多くの電子部品が使用されており、市場の拡大も期待される分野です。
電子部品の部材評価の分析例を以下に示します。

評価項目分析手法
構造・形状・寸法SEMTEM
不純物の分布・拡散評価SIMS
異物の成分評価AESXPSTOF-SIMSRamanFT-IRSEM-EDXTEM-EDX
表面の変色原因調査AESXPSTOF-SIMSSEM-EDX
表面の化学結合状態評価XPSTOF-SIMS
表面の凹凸評価AFM白色干渉計測法
結晶構造評価XRDEBSDED
脱ガスの分析GC/MSTDS
腐食成分の評価IC

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