照明器具は白熱灯・蛍光灯からLEDや有機EL照明などへの切り替えが進んでいます。
次世代照明は低消費電力・低コストを実現するため、多種多用な材料が用いられております。
照明用部材の分析例を以下に示します。
| 評価対象 | 評価項目 | 部位 | 分析手法 |
| LED活性層 | ドーパント分布評価 | 実製品 | SIMS |
| 活性層形状評価 | 実製品 | SCM・SMM・SSRM | |
| 構造・膜厚・結晶欠陥評価 | 実製品 | TEM | |
| 非発光箇所の特定 | 実製品 | EMS・OBIRCH | |
| LED用基板 | ウエハ表面汚染評価 | バルク・薄膜 | XPS・TOF-SIMS・ICP-MS |
| 結晶性評価 | バルク・薄膜 | XRD | |
| 結晶欠陥評価 | バルク・薄膜 | PL・TEM | |
| 応力評価 | バルク・薄膜 | Raman・XRD | |
| 実製品 | TEM・ED | ||
| 不純物分布評価 | バルク・薄膜 | SIMS | |
| 蛍光体 | 形状・分布評価 | 実製品 | SEM・SEM-EDX |
| 成分分析 | 実製品 | AES・TOF-SIMS・SEM-EDX・XRF | |
| 発光解析 | 実製品 | Raman・PL | |
| 有機EL | 積層構造評価 | 実製品 | SEM・TEM |
| 非発光箇所の特定 | 実製品 | EMS・OBIRCH | |
| バッファ層成分の拡散評価 | 実製品 | SIMS・TOF-SIMS | |
| 発光層・輸送層の膜厚評価 | 実製品 | TEM | |
| 発光層・輸送層の成分評価 | 実製品 | SIMS・TOF-SIMS・LC/MS/MS・XPS |