金属・無機材料は、電子部品、半導体、金属、セラミックス、セメントなど、多様な分野で使用されており、その性能や信頼性は最終製品の品質を大きく左右します。
材料中における不純物の濃度評価や結晶性評価、構造解析を行います。
金属・無機材料の分析例を以下に示します。
| 分析項目 | 分析手法 | |
|---|---|---|
| 濃度評価 | 主成分分析 | XRF・XPS |
| 微量不純物分析 | SIMS・GDMS・IC・ICP-MS・ICP-AES | |
| 結晶性評価 | 結晶サイズ | SEM・TEM・XRD・EBSD・TEM ED-Map・SIM |
| 配向性 | TEM・XRD・EBSD・TEM ED-Map | |
| 構造解析 | 歪み・応力 | XRD・Raman・EBSD・TEM |
| 粒界・欠陥・転位 | TEM・SEM・PL | |