［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
全元素範囲（B～U）の同時分析が可能で、細い電子線プローブによる面分析や線分析、分布像取得が可能な手法です。
電気特性異常の原因を調べたい
特定した異常箇所の断面構造を評価することで、異常の原因を調査します。
電気特性異常の場合、p-n接合の評価も有効です。
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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 -
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射で発生する特性X線を同時に検出し、広範囲の元素組成を短時間かつ高感度に分析できる手法です。前処理不要で未知試料の迅速評価にも適します。 -
［SEM］走査電子顕微鏡法
試料に電子線照射して得られる信号から、試料表面のμm程度の凹凸や組成の違いを画像で確認できます。