結晶の構造を知りたい
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［EBSD］電子後方散乱回折法
電子線回折を利用して結晶性試料の方位解析ができる手法です。
電子線回折法より容易にかつ広い領域の結晶情報を得ることができます。 -
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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。