［RBS］ラザフォード後方散乱分析法
ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定します。
標準試料を用いずに定量することができます。
標準試料を用いずに定量することができます。
組成の深さ方向分布を知りたい
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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
全元素範囲（B～U）の同時分析が可能で、細い電子線プローブによる面分析や線分析、分布像取得が可能な手法です。 -
［AES］オージェ電子分光法
電子線照射で放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量を評価する手法です。 -
［SIMS］二次イオン質量分析法
イオンを試料表面に照射し、放出された二次イオンを検出して各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 -
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
薄片試料を透過する電子のエネルギー損失を測定し、物質の構成元素や電子構造を分析できる手法です。 -
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射で発生する特性X線を同時に検出し、広範囲の元素組成を短時間かつ高感度に分析できる手法です。前処理不要で未知試料の迅速評価にも適します。 -
［XPS］X線光電子分光法
X線照射で放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量・化学結合状態を評価する手法です。 -
［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。最表面の有機汚染の同定や、スパッタイオン源を用いた深さ方向分布解析が可能な手法です。