積層構造を知りたい

試料を加工して断面から観察することで、ご指定箇所の積層構造を測定します。
パターン無しの平坦な積層膜の場合、X線反射率の測定が有効です。

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  ［XRR］X線反射率法

  X線を極浅角で入射し反射強度を測定、プロファイルをシミュレーションと比較して膜厚・密度を決定する手法です。

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  ［SIM］走査イオン顕微鏡法

  イオンビーム照射で生じる二次電子像から結晶方位コントラストを観察し、結晶粒の大きさや分布を評価する手法です。

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  ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法

  薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。

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  ［SEM］走査電子顕微鏡法

  試料に電子線照射して得られる信号から、試料表面のμm程度の凹凸や組成の違いを画像で確認できます。

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