［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
全元素範囲（B～U）の同時分析が可能で、細い電子線プローブによる面分析や線分析、分布像取得が可能な手法です。
局所的な組成を知りたい
電子線プローブをnmオーダーまで絞って照射して元素を検出することで局所的な組成を測定します。
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［AES］オージェ電子分光法
電子線照射で放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量を評価する手法です。 -
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
薄片試料を透過する電子のエネルギー損失を測定し、物質の構成元素や電子構造を分析できる手法です。 -
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射で発生する特性X線を同時に検出し、広範囲の元素組成を短時間かつ高感度に分析できる手法です。前処理不要で未知試料の迅速評価にも適します。