［SRA］広がり抵抗測定法
測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。
pn接合・拡散層の形状を知りたい
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［SMM］走査型マイクロ波顕微鏡法
導電性プローブで試料を走査し凹凸を観察します。同時に探針からマイクロ波を照射し反射を測定することで、半導体ではキャリア濃度に相関する信号を得る手法です。 -
［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法
導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手法です。 -
［EBIC］電子線誘起電流
電子線照射で生じる起電流を測定し、pn接合位置や空乏層の広がりをSEM像と併せて可視化できる手法です。 -
［SEM］走査電子顕微鏡法
試料に電子線照射して得られる信号から、試料表面のμm程度の凹凸や組成の違いを画像で確認できます。