［Raman］ラマン分光法
射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象（ラマン効果）を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。
表面の結合状態を知りたい
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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法
分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。 -
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
薄片試料を透過する電子のエネルギー損失を測定し、物質の構成元素や電子構造を分析できる手法です。 -
［XPS］X線光電子分光法
X線照射で放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量・化学結合状態を評価する手法です。 -
［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。最表面の有機汚染の同定や、スパッタイオン源を用いた深さ方向分布解析が可能な手法です。