［AES］オージェ電子分光法
電子線照射で放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量を評価する手法です。
表面の組成を知りたい
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［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法
固体分析では作製が難しい標準試料を比較的容易に調製することが可能なため、溶液中の極微量無機元素を精確に定量できます。 -
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射で発生する特性X線を同時に検出し、広範囲の元素組成を短時間かつ高感度に分析できる手法です。前処理不要で未知試料の迅速評価にも適します。 -
［XPS］X線光電子分光法
X線照射で放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量・化学結合状態を評価する手法です。 -
［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。最表面の有機汚染の同定や、スパッタイオン源を用いた深さ方向分布解析が可能な手法です。