表面形状を知りたい

顕微鏡を使った像観察、
または凹凸の段差計測を提案します。

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  白色干渉計測法

  高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）三次元測定が可能な装置です。

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  ［AFM］原子間力顕微鏡法

  微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。

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  ［SIM］走査イオン顕微鏡法

  イオンビーム照射で生じる二次電子像から結晶方位コントラストを観察し、結晶粒の大きさや分布を評価する手法です。

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  ［SEM］走査電子顕微鏡法

  試料に電子線照射して得られる信号から、試料表面のμm程度の凹凸や組成の違いを画像で確認できます。

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